Microtransducer CAD: Physical and Computational Aspects

طراحی به کمک رایانه (CAD) میکرومبدلهای نیمه هادی بر خلاف همتایان خود در دنیای مدارهای مجتمع نسبتاً جدید است. میکروترانسدیوسرهای سیلیکونی یکپارچه با استفاده از تکنیک‌های ریزساخت مشابه با مدارهای مجتمع استاندارد (IC) ساخته می‌شوند. با این حال، برخلاف دستگاه‌های IC، میکرومبدل‌ها باید با محیط خود تعامل داشته باشند، بنابراین شبیه‌سازی عددی آنها به‌طور قابل‌توجهی پیچیده‌تر است. در حالی که هدف طراحی IC ها سرکوب اثرات "انگلی" است، میکروترانسدیوسرها در بهینه سازی این یا آن اثر پیشرفت می کنند. جستجوی چالش برانگیز برای مدل های فیزیکی و ابزارهای شبیه سازی که میکروترانسدیوسر CAD را قادر می سازد موضوع این کتاب است. این کتاب به عنوان متنی برای دانشجویان کارشناسی ارشد مهندسی برق و فیزیک و به عنوان مرجع مهندسین CAD در صنعت میکروسیستم.

Computer-aided-design (CAD) of semiconductor microtransducers is relatively new in contrast to their counterparts in the integrated circuit world. Integrated silicon microtransducers are realized using microfabrication techniques similar to those for standard integrated circuits (ICs). Unlike IC devices, however, microtransducers must interact with their environment, so their numerical simulation is considerably more complex. While the design of ICs aims at suppressing "parasitic” effects, microtransducers thrive on optimizing the one or the other such effect. The challenging quest for physical models and simulation tools enabling microtransducer CAD is the topic of this book. The book is intended as a text for graduate students in Electrical Engineering and Physics and as a reference for CAD engineers in the microsystems industry.