Technology of Integrated Circuits

نویسندگان که به شدت با شرکت SIEMENS در پیشرفت‌های فوق‌العاده اخیر فناوری‌های فرآیند برای ساخت IC مشارکت دارند، دانش معتبر و تجربه عملی خود را به طور جامع ثبت می‌کنند. مواد جدید، فناوری مدرن مسطح، طراحی فرآیند برای CMOS، Bipolar، BICMOS و فن‌آوری‌های هوشمند قدرت، تکنیک‌های دوپینگ خودتنظیمی تنها تعدادی از نکات برجسته هستند. این کتاب با گرایش کاربردی قوی خود یک کتاب ضروری برای متخصصان صنایع نیمه هادی است. دانشجویان ارشد در رشته های مهندسی برق و فیزیک می توانند از آن به عنوان یک کتاب درسی استفاده کنند زیرا به صورت سیستماتیک دروس پرداخته می شود. با توجه به شغل بعدی خود به عنوان مهندس صنایع، آنها به ویژه از بینش عمیق در مورد روش ها و مشکلات واقعی تولید آی سی قدردانی خواهند کرد.

Strongly involved with SIEMENS Corp. in the tremendous recent developments of process technologies for IC fabrication the authors comprehensively record their authoritative knowledge and practical experience. New materials , modern planar technology, process designs for CMOS, Bipolar, BICMOS and smart-power technologies, self-adjusting doping techniques are just a few of the highlights. With its strong application-orientation this is a need-to-have book for professionals in semiconductor industries. Senior students in electrical engineering and physics can use it as a textbook because of the systematic treatment of the subjects. With regard to their later careers as industrial engineers they will particularly appreciate the deep insight into the actual methods and problems of IC manufacturing.