Low Dielectric Constant Materials for IC Applications

مواد ثابت دی الکتریک کم جزء مهم دستگاه های میکروالکترونیکی هستند. این کتاب جامع آخرین فناوری مواد با ثابت دی الکتریک (کم-k)، مشخصات مواد لایه نازک، ادغام و قابلیت اطمینان برای اتصالات داخلی و کاربردهای بسته بندی در میکروالکترونیک را پوشش می دهد. مشارکت‌های بسیار آموزنده از آزمایشگاه‌های پیشرو دانشگاهی و صنعتی اطلاعات جامعی در مورد فناوری‌های مواد برای فناوری فرآیند کمتر از 0.18 میکرومتر ارائه می‌کند. موضوعات عبارتند از: مواد دی الکتریک آلی، مواد دی الکتریک معدنی، مواد دی الکتریک کامپوزیت، تکنیک های اندازه گیری و خصوصیات، یکپارچه سازی، قابلیت اطمینان. این جلد منبع ارزشمندی برای متخصصان، دانشمندان، محققان و دانشجویان فارغ التحصیل درگیر در توسعه فناوری دی الکتریک، علم مواد، علم پلیمر، و دستگاه های نیمه هادی و پردازش خواهد بود.

Low dielectric constant materials are an important component of microelectronic devices. This comprehensive book covers the latest low-dielectric-constant (low-k) materials technology, thin film materials characterization, integration and reliability for back-end interconnects and packaging applications in microelectronics. Highly informative contributions from leading academic and industrial laboratories provide comprehensive information about materials technologies for < 0.18 um process technology. Topics include: Organic dielectric materials, Inorganic dielectric materials, Composite dielectric materials, Metrology and characterization techniques, Integration, Reliability. This volume will be an invaluable resource for professionals, scientists, researchers and graduate students involved in dielectric technology development, materials science, polymer science, and semiconductor devices and processing.