An Introduction to Surface-Micromachining

مقدمه‌ای بر ریزماشین‌کاری سطحی برای اولین بار نمای واحدی از ریزماشین‌کاری سطحی ارائه می‌دهد. ساختن از بلوک ساختمانی اصلی تکنیک های میکروساخت، تا طراحی کلی میکروماشین سطح، با تئوری و طراحی اجزای بتن به پایان می رسد. مقدمه‌ای بر ریزماشین‌کاری سطحی فرآیند تولید، پدیده‌های ریزمقیاس و داده‌های طراحی را به شکل فیزیکی و عملکرد مرتبط می‌کند.
این کتاب برای مهندسان مکانیک که می‌خواهند در ریزماشین‌کاری کوچک شوند و طراحان میکروالکترونیک که به‌صورت افقی به سمت ریزماشین‌کاری حرکت می‌کنند، جالب خواهد بود.

An Introduction to Surface-Micromachining provides for the first time a unified view of surface-micromachining. Building up from the basic building block of microfabrication techniques, to the general surface-micromachining design, it will finish with the theory and design of concrete components. An Introduction to Surface-Micromachining connects the manufacturing process, microscale phenomena, and design data to physical form and function.
This book will be of interest to mechanical engineers looking to scale down into micromachining and microelectronics designers looking to move horizontally to micromachining.