High Resolution Focused Ion Beams: FIB and its Applications: The Physics of Liquid Metal Ion Sources and Ion Optics and Their Application to Focused Ion Beam Technology

در این کتاب، ما سعی کرده‌ایم مرجعی در مورد پرتوهای یون متمرکز با وضوح بالا (FIBs) تولید کنیم که هم برای کاربر و هم برای طراح ابزار دقیق FIB مفید باشد. ما ترکیبی از تئوری و کاربردهایی را که برای ما مفیدتر به نظر می‌رسید، اضافه کرده‌ایم.
زمینه FIB ها از زمان استفاده از اولین منابع یونی انتشار میدانی در اوایل دهه 1970 به سرعت پیشرفت کرده است. توسعه منبع یون فلزی مایع (LMIS) در اواخر دهه 1960 و اوایل دهه 1970 و کاربرد آن برای FIB ها در اواخر دهه 1970 منجر به ابزاری قدرتمند برای تحقیق و صنعت شده است. صدها مقاله در مورد بسیاری از جنبه های LMIS و FIB نوشته شده است و کتاب مفید و آموزنده ای در مورد این موضوعات در سال 1991 توسط Phil Prewett و Grame Mair منتشر شد. از آنجایی که در ده سال گذشته کاربردها و کاربردهای جدید زیادی برای FIB ها پیدا شده است، احساس کردیم که زمان آن رسیده است که کتاب دیگری در این زمینه داشته باشیم.

In this book, we have attempted to produce a reference on high resolution focused ion beams (FIBs) that will be useful for both the user and the designer of FIB instrumentation. We have included a mix of theory and applications that seemed most useful to us.
The field of FIBs has advanced rapidly since the application of the first field emission ion sources in the early 1970s. The development of the liquid metal ion source (LMIS) in the late 1960s and early 1970s and its application for FIBs in the late 1970s have resulted in a powerful tool for research and for industry. There have been hundreds of papers written on many aspects of LMIS and FIBs, and a useful and informative book on these subjects was published in 1991 by Phil Prewett and Grame Mair. Because there have been so many new applications and uses found for FIBs in the last ten years we felt that it was time for another book on the subject.